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optex/奥泰斯CD5激光位移传感器检测太阳能晶硅片的平整度

作者:admin   发布时间:2017/2/15 15:26:40   浏览次数:1956

CD5激光位移传感器检测太阳能晶硅片的平整度

CD5-W85激光位移传感器可高精度检测透明太阳能基板的厚度和平整度。

CD5系列激光位移传感器控制器CD5A-N内置运算功能,在进行平整度或厚度测量应用时可通过简便的运算处理就可获取测量结果。

CD5-W85属于常规型中距离激光位移传感器,它拥有同级别中最的高线性度,

激光位移传感器是利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光检测器和测量电路组成。激光传感器是新型测量仪表。能够精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化?梢圆饬课灰啤⒑穸取⒄穸⒕嗬搿⒅本兜染艿募负尾饬俊

CD5-W85激光传感器测量太阳能晶硅片的平整度。平整度的变化检出可以帮助发现皱纹,小洞或者重叠,以避免机器发生故障。

CD5-W85激光传感器有直线度好的优良特性,同样激光位移传感器相对于我们已知的超声波传感器有更高的精度。

为提高太阳能晶硅片平整度检测水平,提出了基于基准传递原理的晶硅片平整度检测方法,给出了采用CD5-W85+CD5A-N激光位移传感器检测测量出传感器到被测物之间的距离,通过距离的变化来判断物体表面的平整度。

CD5-W85可连接多个感应头的高性能位移传感器

● 拥有最高分辨率(0.02um)的CD5L-25型。

● 拥有最高线性精度(0.05% F.S. )的CD5-85型。

● 多重运算功能,1个控制器可同时连接3个感应头。

● 感应头可无需连接控制器,独立工作(专利申请中)。

● 通过RS-422与PC直接连接。

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